引導(dǎo)語:近年來,已開宣布從大氣壓到高真空,僅用一臺泵就能完結(jié)的新式真空泵。但一般來說,為了取得高真空、超高真空及極高真空,仍是串聯(lián)多臺真空泵構(gòu)成機組方式來完結(jié)抽氣使命的。因而,正確了解泵的作業(yè)原理、主要性能、結(jié)構(gòu)特色以及分類等,關(guān)于用戶挑選經(jīng)濟適用的真空泵是非常重要的。
真空泵是用以發(fā)生、改進和保持真空的設(shè)備。按其作業(yè)原理,基本上分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種類型。
氣體傳輸泵,它是一種能使氣體不斷吸入和排出泵外以到達抽氣口的的真空泵。這種氣體傳輸泵含有容積泵和動量傳輸泵兩大類.
1容積真空泵
容積真空泵是運用泵腔容積的周期性改變來完結(jié)吸氣、緊縮和排氣的設(shè)備。氣體排出前被緊縮,這種泵分為往復(fù)式和旋轉(zhuǎn)式兩種。
(1)往復(fù)式真空泵,運用泵腔內(nèi)活塞的往復(fù)運動,將氣體吸入、緊縮并排出。因而,又稱它為活塞式真空泵。
(2)旋轉(zhuǎn)式真空泵,運用泵腔內(nèi)活塞的旋轉(zhuǎn)運動,將氣體吸入、緊縮并排出.歸于此類的泵種許多.
1)油封式機械泵,它是運用油類密封各種運動部件的空隙,削減有害空間的一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。這種泵一般帶有氣鎮(zhèn)設(shè)備,故稱氣鎮(zhèn)式真空泵,按其結(jié)構(gòu)特色分為:旋片泵,定片泵,滑閥泵,余擺線泵以及多室旋片泵等。
2)干式真空泵.現(xiàn)在所謂的干式真空,一般通用的說法是:能在大氣壓到10-2Pa的壓力范圍內(nèi)作業(yè)的真空泵;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能運用任何油類和密封液體.排氣口與大氣相通,可以接連向大氣中排氣的泵,即稱為干式真空泵。按其作業(yè)原理分,也有干式容積真空泵,此外還有動最傳輸式干式泵二如渦輪干式泵,離心干式泵等.這種泵的抽氣不再有油的污染了,是近期開發(fā)研發(fā)較多的泵種。
3)液環(huán)真空泵,帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏疼裝在泵殼內(nèi),當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,把液體(水或油類)拋向泵殼構(gòu)成與泵殼同心的液環(huán),液環(huán)同轉(zhuǎn)子上的葉片構(gòu)成了容積周期性改變的幾個小容積完結(jié)吸氣、緊縮和排氣.因為液環(huán)起到緊縮氣體的效果故又稱它為液體活塞真空泵。
4)真空泵,泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉或多葉形的轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間均保持有必定的空隙。它歸于無內(nèi)緊縮式的真空泵.
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